上海新陽(yáng)半導(dǎo)體收到ASML-1400光刻機(jī) 將用于研發(fā)193nm ArF光刻膠

3月9日消息，近日上海新陽(yáng)半導(dǎo)體材料股份有限公司發(fā)布公告，披露了關(guān)于購(gòu)買(mǎi)ASML-1400光刻機(jī)的最新進(jìn)展。

上海新陽(yáng)半導(dǎo)體材料股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“公司”）自立項(xiàng)開(kāi)發(fā)193nmArF干法光刻膠的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目以來(lái)，安排購(gòu)買(mǎi)了ASML-1400光刻機(jī)等核心設(shè)備，并于2020年12月14日在《關(guān)于公司申請(qǐng)向特定對(duì)象發(fā)行股票的審核問(wèn)詢函的回復(fù)》中披露，該光刻機(jī)將于2020年底前運(yùn)抵國(guó)內(nèi)。后由于公司與光刻機(jī)供應(yīng)商、北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司（以下簡(jiǎn)稱“合作方”）溝通協(xié)調(diào)設(shè)備運(yùn)輸與安裝等細(xì)節(jié)，致使設(shè)備沒(méi)能在規(guī)定時(shí)間內(nèi)運(yùn)達(dá)，但與合作方就具體合作細(xì)節(jié)簽署了《合作框架協(xié)議》，并發(fā)布了《關(guān)于ASML-1400光刻機(jī)進(jìn)展暨簽訂<合作框架協(xié)議>的公告》，預(yù)計(jì)該光刻機(jī)將于2021年3月底前進(jìn)入合作方現(xiàn)場(chǎng)，詳見(jiàn)公司于2021年1月5日發(fā)布的相關(guān)公告。

現(xiàn)經(jīng)各方積極協(xié)商、運(yùn)作，該光刻機(jī)設(shè)備于今日已進(jìn)入合作方北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司場(chǎng)地，后續(xù)將進(jìn)行安裝調(diào)試等相關(guān)工作。

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